| Codice # | 511-420 |
|---|---|
| Dimensione del palco in metallo | 308x408 mm |
| Dimensioni del palco in vetro | 198x306 mm |
| Distanza di percorrenza | 250 x 150 mm |
| Dimensione del prodotto | 1003x617x1309 mm |
| Codice # | 510-340 |
|---|---|
| Dimensioni dello schermo LCD | 115 mm × 85 mm |
| Risoluzione dello schermo LCD | 640*480 |
| Asse dell'esposizione | 3 assi (X,Y,Z/Q) |
| Risoluzione lineare della scala | 0.1um,0.2um,0.5mm, 1mm, 2mm, 5mm |
| Codice # | 512-400 |
|---|---|
| Dimensione della fase di lavoro | 455x126 mm |
| Viaggi di fase di lavoro | 300x150 mm |
| Concentrarsi | 120 mm |
| Accuratezza | ≤3+L/200 (um) |
| Codice # | 512-400 |
|---|---|
| Dimensione della fase di lavoro | 455x126 mm |
| Viaggi di fase di lavoro | 300x150 mm |
| Concentrarsi | 120 mm |
| Accuratezza | ≤3+L/200 (um) |
| Codice # | 511-410 |
|---|---|
| Dimensione del palco in metallo | 308x408 mm |
| Dimensioni del palco in vetro | 198x306 mm |
| Distanza di percorrenza | 200x100mm |
| Dimensione del prodotto | 1003x617x1309 mm |
| Codice # | 512-400 |
|---|---|
| Dimensione della fase di lavoro | 455x126 mm |
| Viaggi di fase di lavoro | 300x150 mm |
| Concentrarsi | 120 mm |
| Accuratezza | ≤3+L/200 (um) |
| Codice # | 511-420 |
|---|---|
| Dimensione del palco in metallo | 308x408 mm |
| Dimensioni del palco in vetro | 198x306 mm |
| Distanza di percorrenza | 250 x 150 mm |
| Dimensione del prodotto | 1003x617x1309 mm |
| Codice # | 512-350 |
|---|---|
| Dimensione della fase di lavoro | 355x126 mm |
| Viaggi di fase di lavoro | 200x100mm |
| Concentrarsi | 90 mm |
| Accuratezza | ≤3+L/200 (um) |
| Codice # | 511-330 |
|---|---|
| Dimensione del palco in metallo | 258x308 mm |
| Dimensioni del palco in vetro | 148x206 mm |
| Distanza di percorrenza | 150x100 mm |
| Dimensione del prodotto | 988 x 563 x 1157 mm |
| Codice # | 512-350 |
|---|---|
| Dimensione della fase di lavoro | 355x126 mm |
| Viaggi di fase di lavoro | 200x100mm |
| Concentrarsi | 90 mm |
| Accuratezza | ≤3+L/200 (um) |
