| Codice # | 512-400 |
|---|---|
| Dimensione della fase di lavoro | 455x126 mm |
| Viaggi di fase di lavoro | 300x150 mm |
| Concentrarsi | 120 mm |
| Precisione | ≤3+L/200 (um) |
| Codice # | 512-400 |
|---|---|
| Dimensione della fase di lavoro | 455x126 mm |
| Viaggi di fase di lavoro | 300x150 mm |
| Concentrarsi | 120 mm |
| Precisione | ≤3+L/200 (um) |
| Code# | 542-310 |
|---|---|
| Working Stage Travel | 355x125mm |
| X/Y-axis Travel | 200x120mm |
| Z axis | 110mm |
| Measurement Accuracy | ≤3+L/200um |
| Codice # | 511-410 |
|---|---|
| Dimensione del palco in metallo | 308x408 mm |
| Dimensioni del palco in vetro | 198x306 mm |
| Distanza di percorrenza | 200x100mm |
| Dimensione del prodotto | 1003x617x1309 mm |
| Codice # | 525-020P |
|---|---|
| Scenario in granito | (310*220) mm |
| Fase di vetro | (179,5*129,5) mm |
| Corsa asse X/Y | (150*100) mm |
| Scale lineari X/Y | Risoluzione: 0,5 mm |
| Codice # | 511-330 |
|---|---|
| Dimensione del palco in metallo | 258x308 mm |
| Dimensioni del palco in vetro | 148x206 mm |
| Distanza di percorrenza | 150x100 mm |
| Dimensione del prodotto | 988 x 563 x 1157 mm |
| Codice # | 510-340 |
|---|---|
| Dimensioni dello schermo LCD | 115 mm × 85 mm |
| Risoluzione dello schermo LCD | 640*480 |
| Asse dell'esposizione | 3 assi (X,Y,Z/Q) |
| Risoluzione a scala lineare | 0.1um,0.2um,0.5mm, 1mm, 2mm, 5mm |
| Code# | 525-020GP |
|---|---|
| Granite Stage | (505*350)mm |
| Glass Stage | (356*248)mm |
| X/Y Axis Travel | (300*200)mm |
| Linear Scales | Resolution: 0.5um |
| Code# | 525-020EP |
|---|---|
| Granite Stage | (390*220)mm |
| Glass Stage | (229.5*129.5)mm |
| X/Y Axis Travel | (200*100)mm |
| Linear Scales | Resolution: 0.5um |
| Code# | 542-310 |
|---|---|
| Working Stage Travel | 355x125mm |
| X/Y-axis Travel | 200x120mm |
| Z axis | 110mm |
| Measurement Accuracy | ≤3+L/200um |