Codice # | 512-400 |
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Dimensione della fase di lavoro | 455x126 mm |
Viaggi di fase di lavoro | 300x150 mm |
Concentrarsi | 120 mm |
Precisione | ≤3+L/200 (um) |
Codice # | 512-350 |
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Dimensione della fase di lavoro | 355x126 mm |
Viaggi di fase di lavoro | 200x100mm |
Concentrarsi | 90 mm |
Precisione | ≤3+L/200 (um) |
Codice # | 512-400 |
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Dimensione della fase di lavoro | 455x126 mm |
Viaggi di fase di lavoro | 300x150 mm |
Concentrarsi | 120 mm |
Precisione | ≤3+L/200 (um) |
Codice # | 542-310 |
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Viaggi di fase di lavoro | 355x125 mm |
Viaggio di X/Y-Axis | 200x120 mm |
Asse Z | 110 mm |
Accuratezza di misura | ≤3+L/200um |
Codice # | 511-330 |
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Dimensione del palco in metallo | 258x308 mm |
Dimensioni del palco in vetro | 148x206 mm |
Distanza di percorrenza | 150x100 mm |
Dimensione del prodotto | 988 x 563 x 1157 mm |
Codice # | 511-420 |
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Dimensione del palco in metallo | 308x408 mm |
Dimensioni del palco in vetro | 198x306 mm |
Distanza di percorrenza | 250 x 150 mm |
Dimensione del prodotto | 1003x617x1309 mm |
Codice # | 510-340 |
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Dimensioni dello schermo LCD | 115 mm × 85 mm |
Risoluzione dello schermo LCD | 640*480 |
Asse dell'esposizione | 3 assi (X,Y,Z/Q) |
Risoluzione a scala lineare | 0.1um,0.2um,0.5mm, 1mm, 2mm, 5mm |
Codice # | 510-340 |
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Dimensioni dello schermo LCD | 115 mm × 85 mm |
Risoluzione dello schermo LCD | 640*480 |
Asse dell'esposizione | 3 assi (X,Y,Z/Q) |
Risoluzione a scala lineare | 0.1um,0.2um,0.5mm, 1mm, 2mm, 5mm |
Codice # | 511-340 |
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Dimensione del palco in metallo | 258x358 mm |
Dimensioni del palco in vetro | 148x256 mm |
Distanza di percorrenza | 200x100mm |
Dimensione del prodotto | 988 x 563 x 1157 mm |
Codice # | 511-410 |
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Dimensione del palco in metallo | 308x408 mm |
Dimensioni del palco in vetro | 198x306 mm |
Distanza di percorrenza | 200x100mm |
Dimensione del prodotto | 1003x617x1309 mm |