| Codice# | 525-020dp |
|---|---|
| Stage di granito | (310*220) mm |
| Fase di vetro | (179,5*129,5) mm |
| Viaggio dell'asse x/y | (150*100) mm |
| Scale lineari | Risoluzione: 0,5um |
| Codice# | 525-020P |
|---|---|
| Stage di granito | (310*220) mm |
| Fase di vetro | (179,5*129,5) mm |
| Viaggio dell'asse x/y | (150*100) mm |
| Scale lineari X/Y | Risoluzione: 0,5um |
| Codice# | 512-350 |
|---|---|
| Dimensione della fase di lavoro | 355x126 mm |
| Viaggio in fase di lavoro | 200x100mm |
| Concentrarsi | 90 mm |
| Precisione | ≤3+L/200 (um) |
| Codice# | 542-310 |
|---|---|
| Viaggio in fase di lavoro | 355x125mm |
| Viaggio dell'asse x/Y. | 200x120mm |
| Asse z | 110 mm |
| Precisione della misurazione | ≤3+l/200um |
| Codice# | 542-310 |
|---|---|
| Viaggio in fase di lavoro | 355x125mm |
| Viaggio dell'asse x/Y. | 200x120mm |
| Asse z | 110 mm |
| Precisione della misurazione | ≤3+l/200um |