| Codice # | 511-330 |
|---|---|
| Dimensione del palco in metallo | 258x308 mm |
| Dimensioni del palco in vetro | 148x206 mm |
| Distanza di percorrenza | 150x100 mm |
| Dimensione del prodotto | 988 x 563 x 1157 mm |
| Codice # | 511-340 |
|---|---|
| Dimensione del palco in metallo | 258x358 mm |
| Dimensioni del palco in vetro | 148x256 mm |
| Distanza di percorrenza | 200x100mm |
| Dimensione del prodotto | 988 x 563 x 1157 mm |
| Codice # | 525-020P |
|---|---|
| Scenario in granito | (310*220) mm |
| Fase di vetro | (179,5*129,5) mm |
| Corsa asse X/Y | (150*100) mm |
| Scale lineari X/Y | Risoluzione: 0,5 mm |
| Codice # | 510-340 |
|---|---|
| Dimensioni dello schermo LCD | 115 mm × 85 mm |
| Risoluzione dello schermo LCD | 640*480 |
| Asse dell'esposizione | 3 assi (X,Y,Z/Q) |
| Risoluzione a scala lineare | 0.1um,0.2um,0.5mm, 1mm, 2mm, 5mm |
| Code# | 525-020DP |
|---|---|
| Granite Stage | (310*220) mm |
| Glass Stage | (179.5*129.5) mm |
| X/Y Axis Travel | (150*100) mm |
| Linear Scales | Resolution: 0.5um |