ST-5000G Macchina di collaudo per rivestimento a fessura di precisione
ProdottoIntroduzione:
La macchina sperimentale di rivestimento di precisione ST-5000G è un nuovo tipo di macchina sperimentale di rivestimento ad alta precisione, alta affidabilità e alta stabilità. Le caratteristiche dell'apparecchiatura sono: con la pompa di incollaggio ad alta precisione e la filiera a fessura ad alta precisione di produzione e sviluppo propri, il liquido viene rivestito uniformemente sul substrato rigido per preparare un rivestimento sottile di ampia area con elevata uniformità dello spessore del film.
Parametri del dispositivo:
Substrati applicabili:
| (1) | Dimensione del substrato | 500 mm * 500 mm |
| (2) | Planarità del substrato | <10u |
| (3) | Bagnabilità del substrato | <15° |
| (4) | Temperatura del substrato | 23±2℃ |
Liquidi applicabili:
| (1) | tipo | Isopropanolo, DMF, DMSO e altri solventi organici o altri solventi misti |
| (2) | viscosità | 1~70CPS |
| (3) | Contenuto di solidi | 7%~50% |
Prestazioni del processo dell'apparecchiatura:
| (1) | Metodo di formazione del film | Rivestimento a fessura |
| (2) | viscosità | 300nm~10um (film secco) |
| (3) | Omogeneità di formazione del film | 5% ≤ in-film, 5% ≤ tra i film |
Filiera di rivestimento:
| Numero | Progetto | Parametri tecnici | Osservazione |
| 1 | Materiale | SUS630 | |
| 2 | Larghezza rivestita | 450 mm | |
| 3 | Planarità/rettilineità | ≤3um | |
| 4 | Rugosità del lume | Ra≤0,025 | |
| 5 | Fessure | Tipo di guarnizione, uniformità dello spessore della guarnizione ≤±2um | |
| 6 | Intervallo di regolazione della fessura | ≤±10um | |
| 7 | Ad eccezione dell'intervallo del bordo | ≤10mm | |
| 8 | Gruppo anticollisione della testa di rivestimento | È 20um inferiore al labbro, il che impedisce efficacemente la collisione del labbro | |
| 9 | Correzione della testa di rivestimento | Viene corretto automaticamente da un sensore di spostamento lineare ad alta precisione | |
| 10 | Progettazione dello scarico delle bolle | La camera della filiera è di alto livello e presenta fori per vescicole di alto livello |
Pompe di rivestimento:
| Numero | Progetto | Parametri tecnici | Osservazione |
| 1 | Materiale del corpo pompa | SUS316L | |
| 2 | Materiale dell'anello di tenuta | Guarnizioni resistenti alla corrosione | |
| 3 | Volume della pompa | 5 ml | |
| 4 | Controllo dell'azionamento | Servomotore, vite a sfera | |
| 5 | Risoluzione del controllo dello sputo | 0,01ul/s | |
| 6 | Tempo di risposta | 0,01 s | |
| 7 | Velocità di sputo | 0~2000ul/s | |
| 8 | Massima accelerazione di sputo | 2000ul/s² | |
| 9 | Configurazione funzionale |
1) La pompa di alimentazione del liquido rilascia automaticamente la pressione dopo il rabbocco; 2) Funzione di ritardo dello scarico del liquido; 3) Funzione di aspirazione terminale; 4) Funzione di reidratazione automatica; 5) Regolazione del rivestimento multistadio; |
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| Numero | Progetto | Parametri tecnici |
| 1 | Numero di assi Z | 2个 |
| 2 | Risoluzione dell'asse Z | 0,1um |
| 3 | Controllo dell'azionamento dell'asse Z | Servomotore, vite di grado di rettifica, guida di scorrimento |
| 4 | Ripetibilità dell'asse Z | ≤5um |
| 5 | Intervallo di velocità dell'asse Z | 0~50mm/s |
| 6 | Tipo di azionamento dell'asse Y | Azionamento piattaforma |
| 7 | Controllo dell'azionamento dell'asse Y | Servomotore, vite di grado di rettifica, guida di scorrimento |
| 8 | Intervallo di velocità dell'asse Y | 0~200mm/s |
| 9 | Precisione della superficie di movimento dell'asse Y | Superiore a ±5um |
| 10 | Ripetibilità dell'asse Y | ≤5um |
| 11 | Configurazione funzionale |
1) L'accelerazione e la decelerazione del rivestimento possono essere impostate e regolate; 2) Spazio di rivestimento regolabile; 3) Spazio regolabile di retrazione finale; |
Piattaforma di rivestimento:
| Numero | Progetto | Parametri tecnici | Osservazione |
| 1 | Materiale | Granito di grado 000 | |
| 2 | Si adatta alle dimensioni del substrato | 500*500mm | |
| 3 | Planarità della superficie | Livello≤±5um | |
| 4 | Posizionamento del substrato | Adesione sottovuoto della piattaforma | |
| 5 | Allineamento del substrato | Manuale | |
| 6 | Prelevare e posizionare la tavoletta | Manuale |
Sistema di alimentazione del liquido:
| Numero | Progetto | Parametri tecnici | Osservazione |
| 1 | Materiale del tubo | PFA | |
| 2 | Serbatoio di alimentazione del liquido | Materiale sbucciato, volume 100 ml | |
| 3 | Metodo di alimentazione del liquido | Il serbatoio è pressurizzato | |
| 4 | Lavare il serbatoio | Realizzato in acciaio inossidabile |
Unità di pulizia pre-rivestimento:
| Numero | Progetto | Parametri tecnici | Osservazione |
| 1 | Metodo di pre-rivestimento | Piattaforma di pre-rivestimento | |
| 2 | Pulizia del labbro della filiera | Manuale | |
| 3 | Immergere e scaricare il serbatoio | Viene utilizzato quando l'apparecchiatura è inattiva, la tubazione è pulita e i rifiuti vengono scaricati |
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Numero |
Progetto | Parametri tecnici | Osservazione |
| 1 | touch screen | Piattaforma di pre-rivestimento | |
| 2 | Funzione di registrazione dei log | Il processo di rivestimento di ogni substrato può essere visualizzato, inclusi i parametri di velocità e posizione di ogni asse del rivestitore in ogni punto temporale del processo di rivestimento | |
| 3 | Autorizzazioni operative |
Tre tipi di autorizzazioni operative per l'accesso. Le azioni manuali, semiautomatiche e automatiche del dispositivo possono essere tutte gestite sull'interfaccia |
| Numero | Progetto | Parametri tecnici | Osservazione |
| 1 | comporre | Lega, piastra perforata, FFU, striscia di tenuta | |
| 2 | ideare | Trasparente può osservare le condizioni di rivestimento in tempo reale. La micro pressione positiva di spurgo FFU garantisce che l'ambiente esterno sia migliore di quello di classe 1.000 nell'ambiente esterno | |
| 3 | scarico | La copertura esterna è riservata con porte di scarico organiche e le dimensioni dell'interfaccia sono DN80 |
Configura il lista di controllo:
Configurazione principale:
| Numero | Nome | Marca | La posizione del marchio |
| 1 | PLC | Siemens | Germania |
| 2 | Servomotore | Panasonic | Cina |
| 3 | Convertitori di frequenza | INVT | Cina |
| 4 | HMI | Tonalità Kunlun | Giappone |
| 5 | Cuscinetto | NSK / FAG | Giappone/Germania |
| 6 | Interruttori automatici in miniatura | Schneider/CHINT | Francia/Cina |
| 7 | Relè | Schneider | Francia |
| 8 | Interruttore dell'aria | Schneider/CHINT | Francia/Cina |
Configurazione di sicurezza del dispositivo:
| 1 | Interruttore di emergenza | Il coperchio pulito, l'interfaccia operativa, la scatola di controllo elettrico e altre posizioni sono dotati di interruttori EMO e più punti possono essere arrestati rapidamente in caso di emergenza |
| 2 | Interblocchi di sicurezza | La fonte dei pericoli della macchina utilizza un dispositivo di interblocco hardware a prova di guasto, che interrompe il lavoro delle unità che potrebbero causare lesioni quando il coperchio protettivo dell'apparecchiatura viene aperto. |
| 3 | Allarme sonoro e luminoso | L'apparecchiatura è installata con un dispositivo di allarme acustico e visivo in una posizione ben visibile o specificata dal cliente |
| 4 | Coperchio pulito | L'apparecchiatura è isolata da una copertura esterna e il coperchio antipolvere è tenuto lontano dall'ambiente esterno impedendo al personale di entrare durante il funzionamento |
| 5 | Ventilazione e scarico | Il rivestimento di gas organici volatili è progettato con un collegamento di scarico |
| 6 | altro | La progettazione dell'apparecchiatura per l'uso di acqua, elettricità e prodotti chimici soddisfa gli standard di sicurezza nazionali |