| Codice# | 525-020ep |
|---|---|
| Stage di granito | (390*220) mm |
| Fase di vetro | (229,5*129,5) mm |
| Viaggio dell'asse x/y | (200*100) mm |
| Scale lineari | Risoluzione: 0,5um |
| Codice# | 525-020GP |
|---|---|
| Stage di granito | (505*350) mm |
| Fase di vetro | (356*248) mm |
| Viaggio dell'asse x/y | (300*200) mm |
| Scale lineari | Risoluzione: 0,5um |
| Codice# | 525-020dp |
|---|---|
| Stage di granito | (310*220) mm |
| Fase di vetro | (179,5*129,5) mm |
| Viaggio dell'asse x/y | (150*100) mm |
| Scale lineari | Risoluzione: 0,5um |