| Codice # | 512-350 |
|---|---|
| Dimensione della fase di lavoro | 355x126 mm |
| Viaggi di fase di lavoro | 200x100mm |
| Concentrarsi | 90 mm |
| Accuratezza | ≤3+L/200 (um) |
| Codice # | 511-330 |
|---|---|
| Dimensione del palco in metallo | 258x308 mm |
| Dimensioni del palco in vetro | 148x206 mm |
| Distanza di percorrenza | 150x100 mm |
| Dimensione del prodotto | 988 x 563 x 1157 mm |
| Codice # | 525-020P |
|---|---|
| Scenario in granito | (310*220) mm |
| Fase di vetro | (179,5*129,5) mm |
| Corsa asse X/Y | (150*100) mm |
| Scale lineari X/Y | Risoluzione: 0,5 mm |
| Codice # | 510-340 |
|---|---|
| Dimensioni dello schermo LCD | 115 mm × 85 mm |
| Risoluzione dello schermo LCD | 640*480 |
| Asse dell'esposizione | 3 assi (X,Y,Z/Q) |
| Risoluzione lineare della scala | 0.1um,0.2um,0.5mm, 1mm, 2mm, 5mm |
| Codice # | 525-020P |
|---|---|
| Scenario in granito | (310*220) mm |
| Fase di vetro | (179,5*129,5) mm |
| Corsa asse X/Y | (150*100) mm |
| Scale lineari X/Y | Risoluzione: 0,5 mm |
| Codice # | 521-120G |
|---|---|
| Banchi di lavoro in marmo | (458*358) mm |
| Banchi di lavoro in vetro | (356*248) mm |
| Viaggio dell'asse X/Y | (300*200) mm |
| Viaggi sull'asse Z | Viaggio effettivo 200 mm |
| Codice # | 521-320F |
|---|---|
| Banchi di lavoro in marmo | (408*308) mm |
| Banchi di lavoro in vetro | (306*198) mm |
| Viaggio dell'asse X/Y | (250*150) mm |
| Viaggi sull'asse Z | Viaggio effettivo 200 mm |
| Codice # | 521-420E |
|---|---|
| Banchi di lavoro in marmo | (270*350) mm |
| Banchi di lavoro in vetro | (142*242) mm |
| Viaggio dell'asse X/Y | (200*100) mm |
| Viaggi sull'asse Z | Viaggio effettivo 200 mm |
| Codice # | 521-420J |
|---|---|
| Banchi di lavoro in marmo | (650*580) mm |
| Banchi di lavoro in vetro | (540*440) mm |
| Viaggio dell'asse X/Y | (500*400) mm |
| Viaggi sull'asse Z | Viaggio effettivo 200 mm |
| Codice # | 521-320H |
|---|---|
| Banchi di lavoro in marmo | (608*470) mm |
| Banchi di lavoro in vetro | (456*348) mm |
| Viaggio dell'asse X/Y | (400*300) mm |
| Viaggi sull'asse Z | Viaggio effettivo 200 mm |
